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大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来,---涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下,干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用,有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此,针对这种情况,涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。
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大阪涡轮(复合)分子泵
用 途***小型实验设备的排气***装载室,搬送式排气***分析?测量仪器的排气***吸附?搬送***的排气***封装排气***电子,离子源的排气***干燥***溅射蒸镀等pvd设备排气***小型炉排气***分子泵等高真空泵的辅助泵

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任何真空泵都有不足之处,涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点:(1) 设备费用高;(2) 对颗粒物或沉积物敏感;(3) 噪音与振动;(4) 破碎问题;(5) 暴露---易引起事故
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osaka日本大阪真空曾经制造出上第壹台复合涡轮分子泵,也制造了当时上*大的涡轮分子泵。产品种类:涡轮分子泵、复合分子泵、牵引分子泵、磁悬浮涡轮分子泵、磁悬浮复合分子泵、干式真空泵、罗茨式真空泵、油旋转真空泵、液环式真空泵、油扩散真空泵、喷射泵、真空机组、真空设备等。
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