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boc stp-ixa3306cv涡轮分子泵维修,爱德华stp-ixa3306cv分子泵
boc stp-ixa3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 stpixa3305 系列的新技术)。
boc stp-ixa3306分子泵的高度等于 stp-xa2703/xa3203 的高度,也等于boc stp-ixa3305 系列(不带其电源供给 (ips-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
boc stp-ixa3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
boc stp-ixa3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、---物)
电子回旋共振 (ecr) 刻蚀
薄膜沉积 cvd、pecvd、ecrcvd、mocvd
广州潽拓光电科技有限公司是一家做莱宝分子泵维修、德国莱宝真空泵维修、莱宝真空泵维修、莱宝涡轮分子泵维修的公司,莱宝分子泵保养维修,修理,莱宝复合分子泵维修,修理,现在针对广州各地均可收件。
特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有---的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可---降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
⑼真空泵的价格、运转及维修费用。
机械安装
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。
⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,二手普发分子泵tph062保养,---真空泵运转平稳,振动小。
⑶真空泵与系统的连接管道应密封---,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,从化二手普发分子泵,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)
⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的---压力。
⑸按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)
⑺对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。
⑻如真空泵口安装电磁阀时,二手普发分子泵tph050价格,阀与真空泵应同时动作。
⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。

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