




广州潽拓光电科技有限公司——alcatel真空泵 真空泵技术升级
半导体产业链包括上游的半导体支撑产业,中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备,其中真空产品主要在半导体设备领域应用;中游半导体制造的he心是集成电路制造,包括ic设计、ic制造以及ic封测;下游的半导体应用领域众多,quan球半导体应用领域---前san的行业是通信及智能手机、pc/平板、工业/yi疗。真空泵技术升级
干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,---提高了产品的性能和。真空泵技术升级
为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵---压力从10pa~10-2pa,抽速从20m3/h~500m3/h。真空泵技术升级
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广州潽拓光电科技有限公司——alcatel真空泵
磁悬浮分子泵是利用无摩擦磁悬浮原理实现长期安全、ke靠、节能的实验室和工业的稳定流量控制的一种新的分子泵技术。它是一种分子泵,可以输送液体和气体;它将电机、变频器和线性滑动马达等相结合,实现压力、流量调节,建立完整的闭环控制系统,从而有效控制和稳定流量。涡轮分子泵养护中心
其特点如下:
(1)不用任何润滑油,可实现完全无油化。
(2)由于转子与定子之间没有机械接触,轴承的寿命非常长。
(3)与传统轴承相比,转子可运行到---的转速。
(4) 振动与噪声很低。
(5) 泵的安装姿态不受---,可任意角度安装。
(6)转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形
(7)自平衡技术振动ji小
相比普通分子泵,它的轴承不需要润滑,所以可以排除油污染
由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对qing有---的抽速,但不能抽---,清远alcatel真空泵,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。涡轮分子泵养护中心
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
广州潽拓光电科技有限公司——alcatel真空泵涡轮分子泵养护中心
广州潽拓光电科技有限公司——alcatel真空泵 分子泵升级改造
旋片泵为双级结构,是由高压级与低压级二部分组成,它的吸入口与真空容器或真空设备连接,在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时,alcatel真空泵维修保养,高压级排气阀片将封闭,高压级吸入的气体将转送到第二级,并经第二级吸入与排出,这样真空设备可获得一定的真空。根据用户使用情况,可配备真空增压泵,将该泵做为前级泵,由于增压泵的抽气力加强,前级泵连续抽除,alcatel真空泵维修 厂家,能使设备获得更高的真空。分子泵升级改造
真空泵抽不出液体
1.没有灌注液体。解决方案:重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解决方案:消除杂物
3.吸入管或真空泵内没有排净气体。解决方案:检修吸入管路并排净气体
4.吸上高度超过允许范围。解决方案:按允许吸上高度重新按装真空泵
5.压出管路太细,管路损失太大。解决方案:换适合的压出管路
6.使用扬程超过了设计扬程。解决方案:重新选真空泵
7.输送热的、挥发性的介质。解决方案:降低吸程或采用倒灌按装。
8.转向反了。解决方案:纠正转向
压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,alcatel真空泵维修厂家,泵对各种气体的压缩比也不同。 泵对氢的压缩比很小,一般为1000左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为110-7torr(13.33pa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为110-10torr(13.33npa)。由于氢是真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的---压力的关键因素。分子泵升级改造
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