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由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,致使返流增加,抽气能力下降。
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涡轮分子泵主要依靠告诉旋转的叶片对气体分子施加作用力,并使气体分子向特定的方向运动,普发pfeiffer分子泵,在工作期间,转子叶片去抽气气体分子摩擦生热,使高速旋转的转子与泵体之间产生温升,故此需要通冷却水冷却。
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