云浮inficon检漏仪技术支持企业

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    2023-9-15

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空检漏的意义?

答:真空系统的---真空决定于系统的抽速和漏气量,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的---真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲,真空检漏可分为哪两大类?答:可以分为:1)压力检漏法,包括充气检漏法,卤素检漏法,氨检漏法。2)真空检漏法,包括高频火花检漏法,真空计检漏法,质谱仪检漏法。




简述真空泵的抽气原理?答:1)利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩,b.蒸汽流粘滞牵引压缩,c.刚性表面的牵引压缩。2)利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用,b.利用物理吸附和化学吸附作用。




真空计,又叫真空规。半导体设备中,不可避免的用到真空计,主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽?能做什么?怎么用?1,是什麽?真空计,字面意思,计量真空度的仪器。2,能做什么?真空计主要用来测量真空,或者叫测量压---小。腔室里面气体多,压力大,压---,真空计显示的数值就大;反之,真空计显示的数值小。

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传感器的操作理念展现了设计和功能性是如何做到相互的。即使如此,高可用性的重要性也是高于用户友的,inficon检漏仪技术支持,因为压力传感器需要进行连续多年测量和监测工作,ps+系列采用特殊的密封设计。因此无比坚固,完全iso防护等级ip6k6k、ip6k7和ip6k9k的要求,ps+系列




压力传感器包括采用久经考验的陶瓷测量元件(ps310)或全焊接金属测量元件(ps510)两种类型,这些全焊接测量元件耐过压能力---额定压力的7倍。---时,传感器也可安装峰值压力孔,由于可以读取测量值和小、大压力。可以实现类似具有存储功能的数字式指针压力计的功能。




谱拓科技唯实致力于提供的真空控制、检测仪器、光机电一体化设备,以的产品和服务为客户创造价值。以技术---为手段,以产品专门化、规模化生产为基础,努力发展成为国内仪器设备,---是在真空领域具有竞争力的生产、服务型企业。


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dl-10a的校准曲线如下所示:▲dl-10a校准曲线横坐标是计量院科学院测量标准值,气样是氮气。纵坐标是dl-10a显示值。dl-10a的下限决定于z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。part 02石英真空计性能




●石英真空计的精度较高,用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上,在0.01pa~105pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近,即接近---压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小,误差会增大。在真空计的下限误差较大。




▲dl-10a在计量科学院校准氮气结果

●石英真空计读数与气体种类有关,不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气,测量不同气体时,应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数

●环境温度的变化会影响石英真空计的读数,在高压强不会引起很大误差,但在接近下限,会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗z0随温度变化。

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