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涡轮分子泵工作原理

   包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将脉冲从快速旋 转的叶片传输给被泵送的气体分子。与叶片碰撞的分子被吸 附在叶片上，然后在一段时间后再次离开叶片。在该过程 中，叶片速度被加到热分子速度上。为---由叶片传输的速 度成分不因与其他分子碰撞而损失，分子流必须在泵中占主 导---，即：平均自由程必须大于叶片间距。

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hipace p 系列，因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域

分子泵应用 hipace 400 ：广泛应用于各个真空行业

镀膜：光伏、cd/dvd/pvd、光学镀膜、硬质涂层

工业：医学技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、热处理、灯管制造

研发：核研究、等离子研究、冷冻研究、纳米技术、生物技术

分析仪器：小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体：pvd、cvd、beamline、inspection、mbe、loard-locks