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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法，该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术，只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制，然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号， 很后用峰值检测方法对信号进行解调，得到直流输出。测试结果表明，该测量电路具有---的线性，测量精度可以达到2%，灵敏度可以达到3.6v/pf。但该电路不易于小型化集成。

图2基于峰值检测的微电容测量电路框图wang等设计了一种具有宽温度范围的基于cmos的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法，vref为输入参考电压，时钟信号φ1、φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容ch1、ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。

电路采用结构简单、性能稳定的二阶σ-δ调制器来实现高的分辨率，其中电容c3=2c4。测量过程分为两个阶段，当信号cal置“0”时，电路处于正常工作状态，输出为y；当信号cal置“1”时，电路处于校准状态，c1和c2位置互换，此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声，两者相减即可消除这些噪声。

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真空计校准装置如何实现“小尺子”发挥“大作用”？

回顾便携式真空计校准装置的研发历程，为了---校准装置的灵活使用，以实现在线校准的初心为牵引，真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用，要---“尺子”体积足够小、方便携带。

便携式真空计校准装置技术负责人介绍，真空计一般都是应用在真空环境模拟试验装置上，这些装置可都是“大家伙”，按照传统的计量校准方法，需要将上面使用的各类真空计拆下来送到实验室进行定期校准，不仅增加了拆装的工作量，运输过程中还存在损坏的风险。真空计频繁拆装成了影响试验生产进度的重要因素之一。

为了---真空计在各类产品的科研试验生产现场中的灵活计量，多年来，真空事业部研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，成功研制了便携式真空计校准装置。该装置解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题，实现了真空计在线校准，---了试验生产任务持续有效进行。

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