安捷伦真空泵售后维修-梅州安捷伦真空泵-潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空泵

改进的转子结构

twistorr 305 q 系列分子泵拥有的转子结构：比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他 305 分子泵不同的 macrotorr 牵引级。macrotorr 牵引级是专为---载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时---集中的问题，可以承受持续的---体流量，并可将前级耐压提高至 16 mbar。

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国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，---提高了产品的性能和。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。---压力从10pa~10-2pa，安捷伦真空泵tv801保养服务，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

　　干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

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twistorr 404 fs 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，同时支持高气体流速，从而能够通过 dn100 法兰以 400 l/s 的抽速在极低的---压力下运行，同时可用于高通量应用无烃运行，可---真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 db(a))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本通过 vacuum link 应用程序实现无线控制，以便---进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，---不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化，可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比

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性能指标h2 压缩比3 x 106冷却方法air coolingwater cooling前级管道法兰尺寸kf 25 nw前级耐压 — n210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 db(a)工作位置any建议采用的前级泵容量10 m3/h抽速 — ar340 l/s抽速 — h2415 l/s抽速 — he505 l/s抽速 — n2380 l/s气体通量 — ar、水冷3.3 mbar l/s；195 sccm气体通量 — n2、水冷6.2 mbar l/s；367 sccm---真空<1 x 10–10 mbar标准和61326-1

61010-1

dir 2006/42/ce

dir 2014/35/eu

dir 2014/30/eu

dir 2011/65/eu法兰类型dn 100贮存环境温度-40 至 +70 °c运行环境温度+5 to +35 °c重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 krpm