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分流式分子泵应用于---质检漏仪

涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和---真空---特点.因此在---质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致---沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于---质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵splitflow独立机械和真空结构设计，广泛应用于国内，国际

爱发科---质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商，选用德国splitflow80分子泵集成于---质谱检漏仪中.

分流式涡轮分子泵splitflow优点

紧凑设计，占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和---压缩比

集成分子泵控制器

防护类型ip54适合于工业用途

准s2和ul/csa

运行数据监控---分子泵运行安全性

涡轮分子泵应用于真空互联装置涡轮分子泵应用于真空互联装置

真空互联系统一般是通过rdc传样装置将不同的真空腔体连接起来，例如:快速进样室，样品生长腔，进口ulvac分子泵维修，衬---备腔，电子结构分析腔等，传样过程中---真空量级的真空增量，真空互联系统很多可以连接8个腔体左右，---真空好于1e-10mbar！

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磁场屏蔽出现的问题

旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子---，将产生如下问题：、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；、由于---会减弱铝材料的强度，造成碎泵；、转子---，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30gs。原则上，大于30gs应使用导磁材料屏蔽。

分子泵启动的条件：、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度、启动时间：同时启动——小系统，防前级泵油上返。---启动——系统容积过大，先启动前级泵，至系统压强p=200pa时，启动分子泵。从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发，通过实验讨论分子泵转速对---质谱检漏仪检测结果的影响，并分析产生这种结果的原因。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，ulvac分子泵维修，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短，在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变，对分子量高的气体压缩比高，可以获得清洁无油的高真空和真空环境。

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