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入口法兰dn100iso-k,dn100cf
出口法兰kf25
抽速n2240l/she230l/sh2165l/s
压缩比n2>;1×1011he3×105h21×104
---真空(iso/cf,rv前级泵)<6×10-8/<5×10-10 mbar
前级泵*rv12/nxds10i
放气口1/8英寸bsp母螺纹
吹扫口1/8英寸bsp母螺纹

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上轴承为性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低 配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气)holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴承
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