




广州潽拓光电——
shimadzu电源一体型分子泵特点:
? 强化了抽气性能
? 无需外接电源
? 外形紧
? 节省能源
?
无需安装电缆线或安装控制架
分子泵(turbo molecular
pump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。shimadzu岛津分子泵有着高水准的排气能力,并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求。
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特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有---的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可---降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
⑼真空泵的价格、运转及维修费用。
机械安装
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。
⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,---真空泵运转平稳,振动小。
⑶真空泵与系统的连接管道应密封---,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)
⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的---压力。
⑸按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)
⑺对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。
⑻如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。
⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
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