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涡轮分子泵 hipace 80 技术参数:分子泵型号接口 dn抽速 l/s压缩比高启动压强mbar---压力全转速气体流量hpa l/s启动时间重量进气口排气口氮气 n2---气he氢气 h2氮气 n2氮气n2hpa氮气n2minkghipace 806316675848>; 1x101122< 1x10–71.31.752.4
分子泵应用:
分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体:pvd inspection bonding mbe load-locks
工业:医学技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造

真空泵的保养与维修方法?:真空泵排气口冒烟;真空泵喷油、漏油;真空泵噪音超标;真空度下降;真空泵发烫等现象。? 如果真空泵问题不是很---的情况下,可自行拆开真空泵,更换真空泵易损件之后对真空泵进行清洗组装,达到保养真空泵的目的。典型应用-中高真空范围多用途压强测量与控制-真空炉-分析仪器-溅射和真空镀膜。对真空泵正确的保养可减少真空泵维修的难度,应适当的对真空泵进行保养才能---的使用真空泵,以下对真空泵保养问题提出几点建议:? 1、新安装真空泵应检查电机是否正转,也就是电机与泵内转子转向一致,一般电机上方标有电机正常运转方向。真空泵应安装在清洁、干净的环境里,不宜有杂物、粉尘、水源、温度过高的区域。? 2、如果真空泵有吸入杂质、粉尘、水份、化学物质等潜在危险,应该在真空泵进气口位置加装精密过滤器,如果杂质、粉尘、水份量过大,必须加装储蓄罐进行过滤,以防止粉尘以及水份化学物质等杂质进入真空泵。 3、真空泵的正常运转中,应保持泵内真空泵油不低于油标线,加油时,严禁与不同牌号、型号真空泵油混合使用。? 4、在使用完真空泵后,应对真空泵进行放,长时间停机启动真空泵前,应断续多次启动真空泵? 5、应定期更换真空泵油,一般3~6个月进行一次更换,如发现泵油乳化、碳化等情况,还应及时更换真空泵---油。如果真空泵需24小时运转,必须每半年对真空泵进行一次保养维修。
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