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入口法兰                  dn100iso-k，dn100cf

出口法兰                  dn25nw

标称旋转速度              60000 rpm

待机旋转速度            可在 33000 至 60000 rpm 之间变化（默认为 42000 rpm）

控制器              tic200 分子泵和仪器控制器