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分子泵出现机封渗油

故障剖析：机封毁坏；密封性旋盖未铺平；装配线部位不对。

解决方法：拆换机封；调节密封性旋盖；再次按技术标准装配线。

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气膜轴承

使用空气膜轴承的涡轮分子泵已有商品出售，因为空气轴承需要在连续不断地供给无颗粒物的干燥的高压空气。这样空气源的故障将会引起金属高速摩擦接触，使轴承瞬间遭到破坏。