梅州爱发科涡轮分子泵维修及保养-广州潽拓光电科技

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涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜lt-stm涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜ltstm

扫描隧道显微镜stm是根据力学中的隧道效应原理，通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.低温扫描隧道显微镜lt-stm真空互联除了具有纳米分析能力外，它还可以在4到300k的温度范围内对原子和分子进行准确操作.

低温扫描隧道显微镜lt-stm具有很长的lhe保持时间，极低的漂移率和---的稳定性dz

lt-stm系统需要在真空环境中进行研究，对真空度要求及其高，真空可到1e-10mbar，需要用前级泵，分子泵，离子泵，钛泵等组合使用来达到要求，同时分子泵需要低振动，低噪音，清洁无油---真空的稳定性以---晶体的生长和后期的探测分析.

某搭建lt-stm真空互联系统公司，采购5套涡轮分子泵用于给装置提供真空.主要技术参数如下:

抽速l/s

n2:260，h2:220，爱发科涡轮分子泵维修及保养，he:255，ar:255

全转速时气体流量

mbarl/s

n2:14，h2:>;14，he:20，ar:7

压缩比

n2:>;1x1011，h2:9x105

he:>;1x108，ar:>;1x1011

声压水平

≤50dba

很大功率消耗

300w

很大电流

12.5a

安装方向

任意方向

允许辐射的很大热功率

2.4w

很大允许磁场

5.5mt

转速±2%

60000min-1

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为twistorr304fscff6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。

使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的pt100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mt，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mt，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mt。

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mt时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mt时，低大约40度）。

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