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旋片真空泵的清洗工艺
为了防止系统中任何容易大量放气的物质并去除高蒸气压的物质,必须进行的处理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法,常见的真空部件清洁方法如下。
旋片真空泵的清洗
为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障,泵一般不拆卸,只有旧油和污垢从排油孔排出,新的真空泵油(用于清洗)从带漏斗的进气口。手动缓慢旋转泵轮数次后,释放油。通过重复相同的方法一次或两次,新油可以正式使用。没有---清洁新的旋片真空泵,但有---检查管道入口是否干净,没有异物,并擦去表面腻子。
玻璃塞在使用中清洁
在使用玻璃塞一段时间后,它经常泄漏并且难以旋转。此时,棉花可以用汽you,---乙xi或---tan擦洗,以去除油脂。溶ji完全蒸发后,使用适当类型的真空油脂密封。
清洁金属部件
一般旋片真空泵小金属部件,用有机溶ji除油,然后晾干。如果对金属部件和材料有特殊的清洁要求,此时的清洁方法可根据具体要求进行处理,一般原则是尽量减少天然qi和污染源。

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同时抽取两个腔体的真空,对应的流量为220l/s,150l/s,leyss tw 290/20/20-uhv turbo pump能同时出去三个腔体的真空,
leyss tw290/20/20 uhv turbo pump对应的三个腔体的真空流量分贝为290l/min,20l/min,20l/min
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leyss tw220-150s对应的控制器为leyss tds,leyss tds300或leyss td400


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结构组成:涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。
工作原理:
主要有立式和卧式两种。
动叶轮外缘的线速度---气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

特点:抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单
工作范围:清洁的低真空~中、高真空,---~真空---真空:10-6/ 10-10torr
缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高

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