爱德华二手泵es300保养-云浮爱德华二手泵-广东潽拓光电

潽拓——爱德华二手泵，分子泵

潽拓光电全新edwards爱德华eld500---质谱检漏仪

edwards爱德华eld500---质谱检漏仪：

产品特点：

*  灵活的远程控制选项：触摸屏控制，爱德华二手泵es65服务商，具有本地图形显示和可闻泄漏检测。无线模块可同时控制多达10台检漏仪。

*  可移动的解决方案：重量轻，检漏仪可直接安装在台式桌面或小车上。

*  高灵敏度：可在真空模式下低可测量5x10-12 mbar ls-1的---气泄漏；可在吸模式下低可测量7x10-9 mbar ls-1的---气泄漏。

*  多种版本可供选择

- wet型，集成油封旋片泵

- dry型，集成---气优化隔膜泵

- flex型，不带前级泵。

*  分流套件：能够有效抽空大容量腔体，与 wet 型和 flex 型兼容。

*  准确定位泄漏点：标准吸线可使eld500的操作长度达到4 m。长达50 m的吸线可与吸扩展器接口一同使用。

*  长期使用稳定性：优先的180度磁偏转质谱仪和的离子源，云浮爱德华二手泵，可---仪器长期稳定运行。

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爱德华epx 180真空干泵

       edwards epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 holweck® 分级机构，能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5kg。