广州潽拓光电科技-pfeiffer普发分子泵性能

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广州潽拓——维修pfeiffer duo 3

双级旋片泵 duo 2.5/duo 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 ---压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递---温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对---的---压力。

此外，气镇对---压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作---就打开。

       本公司于光盘行业，半导体行业，真空镀膜业，光磁媒体业， 薄膜太阳能行业及科研行业所用的高真空设备提供维修和备件销售工作，尤擅长维修各类分子泵和分子泵驱动器，高真空探头及其驱动器，ae/射频电源维修。是国内首*使用动平衡调整回复原厂测试服务维修公司，也是国内目前维修时效快的公司.应客户要求，于2016年在广州设立维修办事处，从事客户服务，对各类分子泵和分子泵驱动器，高真空探头及其驱动器进行维修。

广州潽拓光电有限公司维修普发分子泵控制器 pfeiffer tcp 380

基本参数

功率1（kw）               额定电压1（v）

产品ul                速度响应频率50（khz）

适用电机tcp380           品牌pfeiffer

型号tcp380                  加工定制    否

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