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涡旋干式真空泵的结构简单,零部件少;间隙小、泄漏率小,具有较高的压缩比,在较宽压力范围内有稳定的抽速;由于压缩腔内容积的变化是连续的,因而驱动力矩变化小,功率变化小;振动噪声小,---性高。
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卧式涡轮分子泵结构的分子泵是双轴流抽气时转子受力均匀,轴承定位、受力状态好,使用---,且轴承更换过程中,转子位置不动,维修方便。
卧式泵有两组涡轮叶片,普发磁悬浮分子泵tg3460m维修,体积大,外壳形状复杂,因而造价也较高。
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涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。
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