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涡轮分子泵的工作原理，结构型式及其优缺点。

为了利用涡轮分子泵，获得清洁真空，国外多利用干式机械泵作其前级泵，构成无油的真空系统。然而，目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵，构成了有油真空系统，如果操作不当，很难避免油蒸汽返流，对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空，---都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。

应用：当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及---质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。

因此，很近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了---的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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近日，真空推出了寿命更长、振动更小、噪声---的新型涡轮分子泵，同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵---适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的

高度---的新型涡轮分子泵：安全、---、抗老化、体积小巧

分子泵的另一性能指标是，压缩比，所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比，爱发科分子泵utm-50维修，压缩比与转速及分子量的关系是:

kcxexp[gxu(m)17]式中:g为与叶轮几何形状有关的常数;u为叶轮转速;m为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比较大。---质谱检漏仪中，逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量---气的低压缩比，而且，还通过降低叶轮转速，降低对he压缩比，从而提高对---气的响应灵敏度。

分子泵的叶轮是高速旋转的精密件，在分子泵运转中，不允许固体杂物落到叶轮上，以避免损坏叶轮。也要防止---突然冲入正在运转中的分子泵。因为这也有可能损坏叶轮，此外，分子泵运转过程中，要远离强磁场。结论改变---质谱检漏仪的分子泵转速，检测信号值发生变化，仪器在运行时，分子泵转速改变后，只要改变漏率信号的修正系数，无需再次定标，即可---检测漏率的准确性。

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