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电压的不稳定,---对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升---。
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振动频率为60%-100%工作转速,或者是密封间隙过大,护圈松动,密封磨损
处理方法:检查、调整或更换密封;
振动频率为2倍工作转速,不对中,联轴器松动,varian分子泵维修主要厂家,密封装置摩擦,壳体变形,轴承损坏,支承共振,推力轴承损坏,轴弯曲,---的配合
处理方法:检查,采取相应措施,修理、调整或更换;

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