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分子泵出现机封渗油
故障剖析:机封毁坏;密封性旋盖未铺平;装配线部位不对。
解决方法:拆换机封;调节密封性旋盖;再次按技术标准装配线。
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分子泵的电机转子叶片务必具备与气体分子速率相仿的角速度。具备那样的高速运行才可以使气体分子与动叶片相碰撞后更改任意透射的特点而作定向运动。
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