黄埔区inficon英福康真空计维修-潽拓光电(商家)

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上世纪50年代，d.j.pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管（电子管）做电路，其一侧与晶振构成pierce-miller振荡器，晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时，阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105pa到13.3pa的压强。

到了20世纪80年代，m.ono等人设计了测量范围从1.33pa到大于105pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构，长2.66mm，宽0.3mm，厚0.13mm，谐振频率为32768hz。仪器采用位相锁定环路，（phaselookedloop）使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限，经过对石英晶振结构的研究，选用10mm长的晶振做成0.133pa~105pa测量范围的真空计。

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