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分子泵是---质谱检漏仪中获得高真空重要部,是---质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着---质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对---质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50pa,远达不到高压检漏的要求。
1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压---已达2000pa。这种泵用作---质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500pa,v1开,氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室,爱发科进口泵保养服务,实现仪器的逆扩散检漏。
若能进一步将试件抽至200pa以下,则v2关闭,v3打开,从泵的中间口逆扩散至质谱室,若能进一步将试件抽至40pa以下,则v3关闭,v4打开,---气从泵的上部逆扩散进入质谱室,或直接进入质谱室(常规检漏)。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程,一气呵成,不仅,也便于漏率的定量,由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的,仪器只需1次校准即可。
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实验与分析---质谱检漏仪工作在不同的分子泵转速下,在仪器的检漏口连接标漏信号,检测---质谱检漏仪在不同分子泵转速下,所获得的信号值。
实验器材:
(1)---质谱检漏仪sfj-231,1台;
(2)渗---型标准漏孔(3.0×10-10pa.m3/s),爱发科进口泵保养要多少钱,1只;
(3)渗---型标准漏孔(1.5×10-pa.m/s),1只;
(4)标准漏孔tl4-6,1只。
实验步骤:
(1)开启---质谱检漏仪;
(2)仪器进入检漏状态运行2h后;
(3)仪器按下停止键,仪器进入待机状态(4)进入仪器的参数设置,将分子泵的转速设定为1500hz;
(5)待仪器进入待机状态
(6)将渗---型标准漏孔(3.0×100pa.mys)连接在检漏口;
(7)检漏仪按开始键,检测仪器的显示值,并记录;
(8)仪器按下停止键后按下开始键,再次检测仪器的显示值,共记录3次数据(9)仪器在待机状态,进入仪器的参数设置,将分子泵的转速设定为1000hz;
(10)重复7、8步骤;
(11)进入仪器的参数设置,将分子泵的转速设定为1500hz;
(12)在仪器检漏口连接渗---型标准漏孔(1.5x10*pa.ms)1只;
(13)重复7、8、9、10步骤(14)进入仪器的参数设置,将分子泵的转速设定为1500hz;
(15)在仪器检漏口连接标准漏孔tl4-6(16)重复7、8、9、10步骤。
(16)重复7、8、9、10步骤。
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分子泵使用中有哪些注意事项?2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得真空?4.国际热核聚变试验堆(iter)的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试,爱发科进口泵保养厂家,仅选很优方案,---新型分子泵测试方法;真空---真空行业---平台:涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。
质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术,用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境,一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目,工程的主体建筑是三大:一台150mev(1.5亿电子伏特)的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150mev提升到3.5gev(35亿电子伏特)的量增强器,以及一台周长432米的3.5gev电子储存环,
经过技术,成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵,涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s,广东省爱发科进口泵,转速---90,000rpm,---真空很大1e-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,搭配旋片泵和干泵共同使用.
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