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主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。