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涡轮分子泵工作原理
包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将脉冲从快速旋 转的叶片传输给被泵送的气体分子。与叶片碰撞的分子被吸 附在叶片上,然后在一段时间后再次离开叶片。在该过程 中,叶片速度被加到热分子速度上。为---由叶片传输的速 度成分不因与其他分子碰撞而损失,分子流必须在泵中占主 导---,即:平均自由程必须大于叶片间距。


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分子泵应用 hipace 400 :广泛应用于各个真空行业
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工业:医学技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、热处理、灯管制造
研发:核研究、等离子研究、冷冻研究、纳米技术、生物技术
分析仪器:小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体:pvd、cvd、beamline、inspection、mbe、loard-locks


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