inficon检漏仪维修维护-潽拓光电

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什么是电离真空计的外控接法？有何好处？

答：如规管的栅极作为电子加速极，而板极作为离子收集极，此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获，并受灯丝和板极的电位排斥，可以在灯丝与板极的空间，反复穿过栅极来回振荡，如此，可---提高测量的灵敏度。

影响热阴极电离真空计测量下限的原因是什么？如何改进？

答：电子打到收集极上产生软x射线辐射，离子收集极吸收了软x射线会产生光电子发射，由此形成的电子电流正好与离子电流方向一致，故叠加在一起，但此电流与压力无关，当压力降低到形成的离子电流明显小于光电流时，收集极的离子流便不再随压力变化，即到达测量下限。增大离子流，减小光电流可以使测量下限的拓展。

真空检漏的意义？答：真空系统的---真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，萝岗区inficon检漏仪，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的---真空，inficon检漏仪维修维护，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。

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