河源inficon检漏仪-广州潽拓光电公司

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空检漏的意义？

答：真空系统的---真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的---真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括充气检漏法，卤素检漏法，氨检漏法。2）真空检漏法，包括高频火花检漏法，真空计检漏法，河源inficon检漏仪，质谱仪检漏法。

简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，inficon检漏仪维护，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压---小。腔室里面气体多，压力大，压---，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

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涡轮分子泵组由一个带holweck级的(hipace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(mvp015-2)组成。这款泵组的抽速 ---可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hpa。不锈钢腔体上有六个真空计连接口。如果客户要求，两个参考标准(1hpa和1，000hpa)和一个冷阴极真空计能够预装在这套系统中。比如，压力控制和归零调整的预装。

所有的真空计都进行了预校准并且符合德国机构(german:deutscheakkreditierungsstelle–dakks)的标准。这就使得校准真空计可以被有效的实施并且符---律和规范要求，并且这个标准是一个国际化上---的标准。此外， 很多四台真空计能安装在不锈钢腔体上同时进行校准。

装置内要求6台相接的真空计要求的真空度相同，谱拓认为这就需要在校准的时候，用独立的进气阀来设定并且控制真空度。

涡轮分子泵(英简:turbopumps，tmp)是由多级的，涡轮状带叶片的转子通过一个无刷直流电机驱动复合轴承构成。在转子叶片之间，inficon检漏仪维修价格，有一个定子叶片，定子叶片结构与转子相似，但与转子成镜像安装。

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