广州爱发科真空泵有油r7500供应来电咨询

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    2023-11-3

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通用的沉积技术有化学气相淀积(cvd)、蒸发和溅射pvd。一般来说,其中还要夹杂低温(≤500℃)退火工艺等热处理工艺,用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境,一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。





刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确地掩膜图形。现代化的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空系统,同时配有自动化的刻蚀终点检测和控制装置。刻蚀应用工况复杂,清洁性差,充入特种气体种类繁多,因此需要特殊处理的干泵和磁悬浮分子泵。




离子注入设备:离子注入是指在真空环境下,当离子束射向固体材料时,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来,并很终停留在固体材料中的现象。离子注入是半导体表面附近区域进行掺杂的主要技术,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入机是集成电路制造工序中的关键设备,需要高清洁的真空环境,以---离子掺杂浓度和剂量的准确性。


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噪音测试通过在以下12种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试,来验证泵噪音:垂直、水平和翻转位置;高温和低温;全速和低速。在正常运行状态下,168次测量得到的平均噪音为41db(a)+/-3σ。包装测试通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能,在测试时,使带包装的泵从96厘米/37.8英寸的高度以各种角度跌落18次。---在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。




无论从科技或是经济发展的角度来看,重要性都是---的。5g、---、大数据、物联网等新兴技术的发展源源不断地给半导体行业注入崭新活力。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学,爱发科真空泵有油r7500供应,在半导体行业有着广泛的应用。其中,分子泵作为很多半导体制造设备的零部件之一,广泛应用于ic生产制造的各个工艺。




下面小编就带您走进半导体产业链,并一起探索分子泵在半导体行业的应用。半导体产业链包括上游的半导体支撑产业,中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备,其中真空产品主要在半导体设备领域应用;中游半导体制造的是集成电路制造,包括ic设计、ic制造以及ic封测;下游的半导体应用领域众多,半导体应用领域的行业是通信及智能手机、pc/平板、工业/。


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在高真空抽气过程的起始阶段,泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水,然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显,因为它可能比未暴露在压力高于150pa的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。系统停机时,先关闭高真空阀,如果有液氮冷阱的话,还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后,关掉前级管道阀,再切断涡轮分子泵电动机的电源,使分子泵的转子减速。




一般来说,泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间,来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流,在切断涡轮分子泵电动机的电源后,要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。




例如,应该在泵转子速度下降到很大转速的50%左右时,在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入气或氮气,直到泵内压力达到---压。通过从阀门3(见图1)充入气体就可适当地完成这一操作。当涡轮分子泵以额定速度运转时,不应经常充入压力为---压的气流。这样做对轴的寿命是不利的。当前级管道阀关闭后,即可关掉机械泵系统,并用放气阀对机械泵内进行放气。停机后应立即关掉冷却水以防止内部冷凝。在正常工作时,可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。


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