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用于---质谱检漏仪的分子泵的多为抽速60l/s左右的小型泵，对---气的压缩比在1000左右。分子泵的抽速与动叶轮的转速有关，只有动叶轮的切向速度与气体分子的热运动速度相当时才有抽气能力，且抽速随转速而增，所以抽速在50~150l/s之间的小型分子泵的转速通常达到90000~40000转/分。分子泵的另一性能指标是，压缩比，所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比，压缩比于转速及分子量的关系是:

kcxexp[gxu(m)17]式中:g为与叶轮几何形状有关的常数;u为叶轮转速;m为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比大。---质谱检漏仪中，逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量---气的低压缩比，而且，还通过降低叶轮转速，降低对he的压缩比，从而提高对---气的响应灵敏度。

改变---质谱检漏仪的分子泵的转速，分子泵的压缩比会发生变化，分子泵的转速由1500hz改变为1000hz，分子泵的压缩比会变小，进入质谱室的---分压增加，检漏仪检测到---信号会变大，试验中，检漏仪在1000hz下的信号是1500hz信号的3.5倍，也就是说分子泵在1500hz的压缩比;是1000hz的3.5倍。

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鉴定---了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力，公司在科技部02专项“---规模集成电路制造装备及成套工艺”——<磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化>重大专项研制成果基础上，成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论，鉴定很终鉴定意见为：公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台（套），具有自主---，主要性能指标达到水平，取得了---的经济及社会效益，建议进一步推广应用。

作为真空技术者，公司始终以“---科学仪器，发展企业”为使命，以电子光学和真空技术，打造科学仪器设备及装备制造---，在“---”规划的新征程，立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局，为强化---科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。

操作注意事项不能在前级泵工作时（前级管道接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

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