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edwards epx 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，爱德华stp 600真空泵异响，如灰化/剥离和注入端点 站应用。epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，爱德华，可实现异常清洁的真空。epx 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 holweck® 分级机构，能够从---压抽空到小于 7 x 10-7torr 的---压力。epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5kg。
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技术参数：
品牌：edwards 型号：epx twin 180l
入口法兰：iso63 出口法兰：nw25
水接头：3/8 in快速 电源供给：200/208v，50/60hz 三相
电机额度功率:3.0kw 重量：55kg
应用：
epx系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
epxl系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用
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