广州潽拓光电科技-清远ulvacym-rl-1201a干式机组

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脉冲激光沉积系统pld客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统

1.系统功能：主要用于mn氧化物等复杂材料膜。

2.涡轮分子泵真空度要求:真空度

3.样品尺寸:6英寸

4.基片旋转，加热温度：750℃

5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式

真空系统配置:真空系统配置:涡轮分子泵400

接口:dn100cf-f

---真空:

氮气压缩比:>;1x1011涡轮分子泵80

接口:dn63cf-f

---真空:

氮气压缩比:>;1x1011隔膜泵mvp040

口径:g1/4”

---真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s，转速---90，000rpm，---真空很大1e-11mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100，000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>;>;

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近日，真空推出了寿命更长、振动更小、噪声---的新型涡轮分子泵，同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵---适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的分子泵

高度---的新型涡轮分子泵：安全、---、抗老化、体积小巧。在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，ulvacym-rl-1201a干式机组，集成的转子温度测量功能可---始终发挥很佳性能，保障其---运行安全性。在轴承方面，的混合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且---的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。

坚固---的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高---性。此外，相较于其他涡轮泵，体型小巧紧凑，可集成到各种便携式和移动式应用中。同时，该泵还具备自动配件检测功能的micro-usb接口，在短短几步之内即可投入使用，为用户带来便捷和高的效的使用体验。

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