pfeiffer真空泵返油处理-潽拓光电

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    2023-10-9

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广州潽拓光电

boc stp-ixa3306cv涡轮分子泵维修,爱德华stp-ixa3306cv分子泵


boc stp-ixa3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内---的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 stpixa3305 系列的新技术)。

boc stp-ixa3306分子泵的高度等于 stp-xa2703/xa3203 的高度,也等于boc stp-ixa3305 系列(不带其电源供给 (ips-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。

boc stp-ixa3306分子泵特性与优势:

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计,包括完全集成的控制器

性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

boc stp-ixa3306分子泵用途:

溅射

离子注入源,揭阳pfeiffer真空泵,射束线泵送和站

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、---物)

电子回旋共振 (ecr) 刻蚀

薄膜沉积 cvd、pecvd、ecrcvd、mocvd





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广州潽拓光电——普发分子泵hipace 1500c 型号参数_pfeiffer 普发分子...

德国pfeiffer真空泵产品特点:

pfeiffer总公司位于德国asslar,pfeiffer真空泵无法启动,作为真空技术的引*者,普发真空不断研发、生产性能、运行---的真空产品。120多年来,普发真空的产品不断建立真空技术发展的---。

pfeiffer产品包括:pfeiffer干泵、pfeiffer罗茨泵、pfeiffer质谱仪、pfeiffer真空泵,pfeiffer分子泵,pfeiffer真空泵返油处理,pfeiffer分子真空泵,pfeiffer检漏仪、pfeiffer真空计、pfeiffer分子泵组、pfeiffer罗茨泵组、pfeiffer检漏系统、pfeiffer真空获得设备、pfeiffer真空计、pfeiffer分析仪器、pfeiffer真空系统等。



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广州潽拓光电——bpg400 /bpg402 英福康inficon 

inficon皮拉尼复合真空计

产品型号:bpg400

i

半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制,从低至真空范围


优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至---压(3.8x10-10 乇至---压)

---的重复性,压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的---

容易更换具有在机校准的传感元件,---高度重复性




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