




广州潽拓光电科技有限公司——alcatel真空泵维修厂家 磁悬浮涡轮分子泵维修
含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是---气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有---的,*大启动压强也要在100pa,直接---启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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水环式喷气式飞机机械泵组是由水环泵构成的机械泵组和喷气式飞机泵。它能够 除去气体和别的非腐蚀,水不可溶和无固态颗粒物的汽体,及其性,水分含量和汽体。抽真空溫度一般不超过40℃,较大 真空值为1000pa。涡轮分子泵维修中心
总体安装注意事项
、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。
、打开泵高真空端法兰盖板,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。
、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
、确认防护网已安装,特殊情况下定做特殊防护网。
、确认已装入润滑油。涡轮分子泵维修中心
进口真空泵维修分享根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:(1)一般水泵,压强可达到1.333~100kpa(10~760rmhg)为”粗“真空(2)油泵,压强可达0.133~133.3pa(0.001~1mmhg)为“次高“真空。(3)扩散泵,压强可达0.133pa以下,(10-3mmmhg)为”高”真空。若要较低的压力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3pa(1mmhg)以下
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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组,这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的---,即前级高于某一压力,泵就不能正常工作。alcatel 5011分子泵维修 ,而当前级泵达到这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求,必然会引起真空机组不能正常工作。alcatel 5011分子泵维修
转子的油膜冷却:这种冷却方法是在罗茨真空泵入口处连接一个输油管,用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过滤器器、冷却器,通过密封---的油泵,再经过办输油管将油送到泵的入口。油滴到转子上之后,随着转子的旋转而均面在转了子的表面上。alcatel 5011分子泵维修
这不仅将转子的热量带走,同时在两个转子表面上形成油膜,防止气体的逆流,而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在泵的出口处设有油槽,收集废油,经过过滤,冷却后重新循环使用。此种方法效果---。alcatel 5011分子泵维修 ,alcatel真空泵维修厂家,但由于泵内有油,失去了罗茨泵无油蒸汽污染真空系统的特点。再则油具有一定的粘度,对高速旋转的罗茨泵转子增加了不少的摩擦力,当然使泵的功率消耗增加。alcatel 5011分子泵维修
所使用的油,要求饱和蒸汽压应尽量代。
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