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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组，这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的---，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。alcatel 5011分子泵维修 ，而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。alcatel 5011分子泵维修

转子的油膜冷却:这种冷却方法是在罗茨真空泵入口处连接一个输油管，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过滤器器、冷却器，通过密封---的油泵，再经过办输油管将油送到泵的入口。油滴到转子上之后，随着转子的旋转而均面在转了子的表面上。alcatel 5011分子泵维修

这不仅将转子的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，防止气体的逆流，而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在泵的出口处设有油槽，收集废油，经过过滤，冷却后重新循环使用。此种方法效果---。alcatel 5011分子泵维修 ，但由于泵内有油，失去了罗茨泵无油蒸汽污染真空系统的特点。再则油具有一定的粘度，对高速旋转的罗茨泵转子增加了不少的摩擦力，当然使泵的功率消耗增加。alcatel 5011分子泵维修

所使用的油，要求饱和蒸汽压应尽量代。

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罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有---的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有超*的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。阿尔卡特真空泵维护

分子增压泵可以在100-50pa工作，前级泵从---到这一压力，基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律，因此机组可以具有---的抽气效率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。阿尔卡特真空泵维护

对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到---的简化。阿尔卡特真空泵维护

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