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在真空的里,也有一对不离不弃的“---情侣”。我们习惯称这对---伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和---真空,并且可以持续的---长时间运行,高真空泵---真空---,只有分子泵才能有此能力。前级泵和分子泵相生相伴,在电子显微镜、质谱以及领域做出了的贡献,推动了科学仪器行业的飞速发展。
为什么分子泵和前级泵是天作之合?分子泵需要配置前级泵, 而不是直接在---压下工作. 我们都知道涡轮分子泵必须在分子流状态下工作才能显示出它的性。分子泵输送气体应满足两个---条件:1涡轮分子泵必须在分子流状态下工作;2分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利;
在纯粹涡轮分子泵的情况下, 由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5~10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽,如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏,这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与---阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。如图464所示,当当前级压力升至1pa时,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无---常工作。
抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是,该变化比直线稍慢。这是因为,在旋转速度下,p较大的气体具有较大的速度比,因此叶片的hoe系数较大,但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐---冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热---装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
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用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求,尤其是在需要---振动和静音的应用中,该系列涡轮分子泵可以---提升用户体验。采用这项技术的相关真空泵非常适合用于质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。以电子显微镜为例:由于高真空法兰的振动很---(~20nm),导致高倍率下的图像模糊不清;而集成了这款涡轮分子泵之后,振动变得---(~5nm),使电子显微镜能够获得更高分辨率的图像。
电子显微镜的两幅图像对比:配备了涡轮分子泵(右)比未配备涡轮分子泵(左)时的图像要更清晰
高度---的新型涡轮分子泵
除了应用更---的技术之外,也承袭了真空涡轮分子泵安全、---、抗老化、重量轻、体积小巧等一系列优点。
·在控温方面,涡轮分子泵配备集成传感器,ulvac高真空分子泵保养价格,集成的转子温度测量功能可---始终发挥很佳性能,保障其---运行安全性。
·在轴承方面,的混合轴承由两部分组成:前级真空侧运用耐温高、转速高且---的油润滑式陶瓷球轴承,而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固---的轴承材料让系列涡轮分子泵具备更高---性。
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