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分子泵的优点是:启动快,节省能源,无油蒸气污染或污染很少,可获得清洁的真空;全磁悬浮分子泵无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。

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磁悬浮分子泵的基本原理是利用磁轴承产生电磁力使转轴处于无接触的悬浮状态,其悬浮状态的获得需要以转轴位置为基准实施磁轴承输出电磁力的控制.
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真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
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