爱德华磁悬浮分子泵-广东潽拓光电

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    莱宝leyss turbovac mag w 3200涡轮分子泵



     turbovac mag w 3200 c/ct常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- cvd；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象， 选用带温度控制的扩展附件在mag 1500 c、mag 2000 c、mag2800和mag 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，爱德华磁悬浮分子泵维修服务公司，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，爱德华磁悬浮分子泵，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

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