




广州潽拓光电科技有限公司--ulvac爱发科分子泵维修;
脉冲激光沉积系统pld客户案例:某大学电信系脉冲激光沉积系统
1.系统功能:主要用于mn氧化物等复杂材料膜。
2.涡轮分子泵真空度要求:真空度
3.样品尺寸:6英寸
4.基片旋转,加热温度:750℃
5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式
真空系统配置:真空系统配置:涡轮分子泵400
接口:dn100cf-f
---真空:
氮气压缩比:>;1x1011涡轮分子泵80
接口:dn63cf-f
---真空:
氮气压缩比:>;1x1011隔膜泵mvp040
口径:g1/4”
---真空:≦5mbar
抽速:2.3m3/h
涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s,转速---90,000rpm,---真空很大1e-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>;>;
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分子泵油池安装注意事项、拆油、油量控制、油池卫生,防颗粒、对好、对称上紧螺钉,佛山ulvac爱发科分子泵,防止有漏
3进出口法兰、冷却水安装、泵入口:对正、对称拧紧、泵出口:防止错位、冷却水:无漏水;入口水压0.2mpa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀注意:环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强:强制风冷
电缆安装注意事项、对正槽口插入、用螺母拧紧,ulvac爱发科分子泵升级改造,边插边拧、检查---
5振动隔离、冲击防护
1分子泵振动,可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),ulvac爱发科分子泵售后服务,建议使用隔振器,以便很大可能的减少振动。2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)
气体振动(气量突变、压强突变)
意外振动(掉入异物、碰撞等)注意:没有对泵进行---防护,容易造成分子泵---的破坏、甚至碎泵。
6---载、热气体、突变气载
a引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效b.措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间
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---质谱检漏仪范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。---质谱检漏仪中没有手动阀,现已采用自控阀自动调节运转时的误差。
同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。还可以使用app远程操控检漏仪,并实时监控检漏仪显示漏率。
无论是用于研发的灵活---的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的快速---的便携解决方案,ulvac爱发科分子泵技术服务,都可提供相应的解决方案。:---质谱检漏仪中分子泵与油泵有什么区别?现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了---的改进和发展。
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广州潽拓光电科技-佛山ulvac爱发科分子泵由广州潽拓光电科技有限公司提供。广州潽拓光电科技有限公司在真空泵这一领域倾注了诸多的热忱和热情,潽拓光电一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创。相关业务欢迎垂询,联系人:邹先生。
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