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由于日本大阪涡轮分子泵应用领域的宽泛性,这就导致所抽气体成分不尽相同,有些是单纯地抽取容器内的空气,有些却要抽取含有有害化学物质的气体混合物,也有的所抽气体中含有大量的水蒸气,无论是水蒸气还是具有腐蚀性的有害化学物质,进入泵内都会对泵造成伤害,不仅会污染泵油,osaka分子泵漏油,还会造成泵内工件的损伤,---影响了真空泵的寿命。
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如果简单地抽取空气,空气中没有有毒有害的化学成分,这是对真空泵滤芯就没有耐腐蚀的要求,反之,则要求真空泵滤芯能够抗腐蚀。
日本大阪涡轮分子泵选定之后,从化osaka分子泵,如何配置前级泵,需遵守的原则是:
求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件;
抽走主真空泵产生的---体量;
必须满足主真空泵进气口能工作的大压力时所需的预抽时间要求。
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分子泵的冷却方式有三种:自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然冷却;较大的分子泵或者有一定的气体负载时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于有些负载很大的应用(比如cvd),或者不方便使用风扇的环境(如辐射环境),需要采取水冷。



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