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岛津tmp-203m磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口vg100/icf152/iso100b/iso100c，出气法兰口kf25，抽速可达到190 l/s，转速为50000 rpm
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真空泵可以抽到的压力的---数值。真空泵的---压力和抽气量是真空泵的重要参数，---压力越低，真空泵制造真空环境的性能越高。
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利用装有叶片的叶轮高速旋转，将机械能转换为液体的动能与压能而工作的泵，称为叶片泵。根据被抽送液体流出叶轮的方向，可分为离心式、轴流式和混流式三种类型
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