越秀区爱发科涡轮分子泵维修及保养维修包

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分子泵是---质谱检漏仪中获得高真空重要部，爱发科涡轮分子泵维修及保养，是---质谱检漏仪中不可或缺关键部件，分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏，分子泵的发展直接影响着---质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对---质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间，所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力，将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压，一般不超过50pa，远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵，现今，其前级耐压---已达2000pa。这种泵用作---质谱检漏仪的高真空泵，可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪，其工作过程如下。当被检试件抽至1500pa，v1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200pa以下，则v2关闭，v3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40pa以下，则v3关闭，v4打开，---气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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涡轮分子泵的工作原理，结构型式及其优缺点。

为了利用涡轮分子泵，获得清洁真空，国外多利用干式机械泵作其前级泵，构成无油的真空系统。然而，目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵，构成了有油真空系统，如果操作不当，很难避免油蒸汽返流，对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空，---都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。

应用：当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及---质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。

因此，很近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了---的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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