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广州潽拓光电科技有限公司——大阪涡轮分子泵

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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点：(1) 设备费用高；(2) 对颗粒物或沉积物敏感；(3) 噪音与振动；(4) 破碎问题；(5) 暴露---易引起事故

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大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来，---涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下，干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用，有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此，针对这种情况，涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。

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大阪涡轮（复合）分子泵

用　途***小型实验设备的排气***装载室，搬送式排气***分析?测量仪器的排气***吸附?搬送***的排气***封装排气***电子，离子源的排气***干燥***溅射蒸镀等pvd设备排气***小型炉排气***分子泵等高真空泵的辅助泵