英福康真空计保养咨询-汕头英福康真空计保养-广东潽拓光电

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    2023-3-22

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电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用ibm0.13umcmos技术制造,cmos电路板的尺寸为1950umx1850um,有效电路尺寸为263umx354um,采用2.5v电源供电,功率消耗约为0.69mw。在-20~225℃温度范围内,电路精度可达到2.4%,分辨率可达到1.44ff。




电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ,敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模抑制比,从而提高整个系统的分辨率,因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用,具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。




图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容cx1、cx2,寄生电容cp,输入阻抗缓冲器r,前置可编程放大器,一个单位增益的反相放大器,相敏解调器,可调方波时钟发生器,低通滤波器(lpf),可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益,使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。

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石英真空计应用

在风洞中的应用

风洞模型测压试验是获得气动载荷分布和气动特性的重要方法之一。常规高速超声速风洞测压在高于2kpa高压已能够获得较好的精度,但在1kpa以下压强暂无法获得---的测量结果。而模型背风区压强测量,测力试验底部压强测量,低密度风洞测压试验等均存在大量微压测量任务。




用石英真空计已能测量0.2kpa-2kpa之间的压强。目前在风动中测量压强要用一细长管道将气体引出,英福康真空计保养价格,管道长为1.3m,内径为0.9mm。风动中测量压强是要测量压强的分布,即多点测量,这些是与通常的压强测量不同的。多点测量是将石英晶振安装在一个集成箱中,由细长管道通到被测量的位置。晶振测量电路将测量到的晶振电压与电流送到统一的主控板,该主控板就存有32个位置的压强值。




由于在被测压强位置与晶振之间存在细长管道对测量会有影响,其一是使时间常数增大,读数变化缓慢,实验测量在300pa压强时,时间常数约55秒,在风洞测量中此时间常数仍可接受。其二是细长管道会使测量下限升高。因为晶振位置总会存在一定的放气与漏气,若放气与漏气量为q,则在晶振处的 很低压强应为p=q/s,q为晶振处的放气与漏气量,s为经过细长管道后晶振处的有效抽速。实验测得经细长管道后 很低指示压强为10pa,这对测量大于0.2kpa压强管道引起了下限的增加,英福康真空计保养咨询来电,对测量并无很大影响。石英真空计用于大于0.2kpa压强,测量精度约为15%。


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