萝岗区安捷伦分子泵turbo-v1k-g保养维修包

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵turbo-v1k-g保养

从上世纪60年代上市以来，安捷伦（即原瓦里安，下同）扩散泵一直------。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时，会用安捷伦的型号，也有很多用户——---是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦，要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。

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安捷伦分子泵的特点

　　油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

　　脂润滑分子泵：油脂量小，安捷伦分子泵turbo-v1k-g保养，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

　　全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

真空泵常规性能参数测试抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时，安捷伦对外发布的各项参数和曲线。

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使用经过加速的离子束照射被测的表面，通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析，具有快速直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。

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测试条件和装置

被测分子泵的型号为 twistorr304 fs cff6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至 1e-3 mbar 以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 pt100 热电阻测量定子的温度。