瑞士英福康真空计配件-云浮英福康真空计-广东潽拓光电

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国内在90年代也有人研制了石英真空计，所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡，自---电路。测量范围为0.1pa~2×105pa。 很近我们研制的dl-10a型石英真空计采用fc135晶振，测量范围为5×10-1~105pa。目前已有石英真空计产品，

例如：cc-10真空计测量范围是1.33×10-2pa到---压，m-320xg晶振真空计测量范围是1x10-1pa到---压，dl-10a型石英真空计测量范围是5x10-1pa到---压。其优点为：传感器体积小，耗电功率小（约1w），精度较高（约10%），量程较宽（10-1~105pa）等。

part 01工作原理

石英晶振在谐振时，其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关，二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高，但测量范围较窄，它可以用作标准真空计或应用于要---度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽，可达0.1-105pa，适合做工作用真空计。晶振在谐振时，同时自身也存在机械振动，振动时将受气体阻力，阻力的大小与气体压强有关，因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。

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