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国内在90年代也有人研制了石英真空计，所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡，自---电路。测量范围为0.1pa~2×105pa。 很近我们研制的dl-10a型石英真空计采用fc135晶振，测量范围为5×10-1~105pa。目前已有石英真空计产品，
例如：cc-10真空计测量范围是1.33×10-2pa到---压，m-320xg晶振真空计测量范围是1x10-1pa到---压，dl-10a型石英真空计测量范围是5x10-1pa到---压。其优点为：传感器体积小，耗电功率小（约1w），精度较高（约10%），量程较宽（10-1~105pa）等。
part 01工作原理
石英晶振在谐振时，其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关，二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高，但测量范围较窄，它可以用作标准真空计或应用于要---度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽，可达0.1-105pa，适合做工作用真空计。晶振在谐振时，同时自身也存在机械振动，振动时将受气体阻力，阻力的大小与气体压强有关，因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。
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传感器的操作理念展现了设计和功能性是如何做到相互的。即使如此，瑞士英福康真空计维修，高可用性的重要性也是高于用户友的，因为压力传感器需要进行连续多年测量和监测工作，ps+系列采用特殊的密封设计。因此无比坚固，完全iso防护等级ip6k6k、ip6k7和ip6k9k的要求，ps+系列
压力传感器包括采用久经考验的陶瓷测量元件(ps310)或全焊接金属测量元件(ps510)两种类型，瑞士英福康真空计配件，这些全焊接测量元件耐过压能力---额定压力的7倍。---时，传感器也可安装峰值压力孔，清远英福康真空计，由于可以读取测量值和小、大压力。可以实现类似具有存储功能的数字式指针压力计的功能。
谱拓科技唯实致力于提供的真空控制、检测仪器、光机电一体化设备，以的产品和服务为客户创造价值。以技术---为手段，以产品专门化、规模化生产为基础，努力发展成为国内仪器设备，---是在真空领域具有竞争力的生产、服务型企业。
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感压薄膜上的电极分别与固定电极、参考电极构成敏感电容和参考电容，伺服电极位于感压薄膜下方，通过施加静电力使感压薄膜在测量真空度的过程中处于一个确定的位置，从而实现宽范围的动态压力测量。当被测压力为p时，瑞士英福康真空计养护，要使感压薄膜处于平衡状态，则施加在感压薄膜上的单位面积的静电力fe应于压力p相等，
图10静电力平衡式inficon电容薄膜真空计测量电路结构图为了---静电力平衡式inficon电容薄膜真空计具有---以及---的稳定性，静电力控制回路须要产生准确稳定的静电力。通常采用pid控制器作为静电力控制回路中的静电力控制器。
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