荔湾区进口ulvac分子泵维修改造「」

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我国是很大的半导体消费市场，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵，长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题，公司积极响应需求，承担科技部<---规模集成电路制造技术及成套工艺>专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，多项关键技术，于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵，---国外产品垄断。

公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵，以其---的性能，已广泛应用于工业过程、镀膜等领域，为半导体零部件国产化注入新活力。未来，进口ulvac分子泵维修改造，公司将继续---半导体产业发展需求，全力突破“卡脖子”技术难题，推动半导体设备零部件国产化，为集成电路发展持续贡献力量。

现今，越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十几年来，涡轮分子泵在国内、外都得到了---的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和---真空---特点.因此在---质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致---沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于---质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.

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涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s，转速---90，000rpm，---真空很大1e-11mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100，000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>;>;

分子泵故障：1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？原因：附近有光照或其他热源解决方法：避免光照或热源2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？原因：冷却---，负载太大解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？原因：负载太大，系统真空度不够解决方法：检查系统4、分子泵轴承为什么会烧毁原因：缺乏定期维护冷却---导致过热没有及时换油抽除的气体中含有大量粉尘解决方法：及时维护检查冷却系及时换油隔离粉尘

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