白云区ulvac-utm-480fw分子泵-广东潽拓光电

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    2022-6-15

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真空泵常规性能参数测试:抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。很终产品定型时,对外发布的各项参数和曲线,比如下图的抽速和压缩比曲线,都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的,在此不再展开描述。在泵处于垂直、水平和倒立状态时,各进行6次冲击测试所测试的泵在24次跌落后无任何问题(不发生转子机械接触,泵运行状态不变)。




在每次跌落后验证泵的不平衡性,结果表明变化,远低于阈值。抗振动测试通过对一批泵(处于运行和非运行条件下)进行一系列测试,证明对外部源产生振动的耐受性在105分钟的振动周期中,全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性,ulvac-utm-480fw分子泵,因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变,且泵不平衡性仍然远低于阈值。




温度测试将泵置于–40°c至+70°c(处于非运行状态)以及0°c至40°c(处于运行状态)下暴露86小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证11次,结果显示仅存在的变异,远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。傅立叶振动分析在制造过程中以及泵运输前的很后测试中,对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均很大振动水平:0.4m/s2。


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有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?原因:防护网,前级管道解决方法:优化系统设计6、真空度---的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?原因:油池或密封---解决方法:检查油池7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形原因:过热,负载大解决措施:检查冷却系,检查系统





分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如m5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,使用才安全?答:不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等。





、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?答:电压不稳强干扰高压打火认为11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要仪器和特定的测试环境12、分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?答:注意水温和水流量,冷却---会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

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分子泵使用中有哪些注意事项?2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得真空?4.国际热核聚变试验堆(iter)的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试,仅选很优方案,---新型分子泵测试方法;真空---真空行业---平台:涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。




质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术,用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境,一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目,工程的主体建筑是三大:一台150mev(1.5亿电子伏特)的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150mev提升到3.5gev(35亿电子伏特)的量增强器,以及一台周长432米的3.5gev电子储存环,




经过技术,成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵,涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s,转速---90,000rpm,---真空很大1e-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,搭配旋片泵和干泵共同使用.


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