广东省爱发科分子泵维修固件升级-潽拓光电

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分流式分子泵应用于---质检漏仪

涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和---真空---特点.因此在---质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致---沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于---质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵splitflow独立机械和真空结构设计，广泛应用于国内，国际

爱发科---质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商，选用德国splitflow80分子泵集成于---质谱检漏仪中.

分流式涡轮分子泵splitflow优点

紧凑设计，爱发科分子泵维修固件升级，占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和---压缩比

集成分子泵控制器

防护类型ip54适合于工业用途

准s2和ul/csa

运行数据监控---分子泵运行安全性

涡轮分子泵应用于真空互联装置涡轮分子泵应用于真空互联装置

真空互联系统一般是通过rdc传样装置将不同的真空腔体连接起来，例如:快速进样室，样品生长腔，衬---备腔，电子结构分析腔等，传样过程中---真空量级的真空增量，真空互联系统很多可以连接8个腔体左右，---真空好于1e-10mbar！

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分子泵使用过程出现的问题8总体安装注意事项

、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。、确认已装入润滑油。、安装方向：油绳润滑：竖直、水平；油润滑：竖直方向±5°范围内；脂润滑：任意角度

是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。电压的不稳定，---对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。

如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升---。、、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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